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| 評(píng)定參數(shù) | Ra, Ry, Rz, Rq, Pc, R3z, mr, Rt, Rp, Rv, Sm, S, δc, Rk, Rpk, Rvk, |
| | Mr1,Mr2, A1, A2, Lo, Ppi, R, AR, Rx, Δa, Δq, Ku, HSC, mrd, Sk, W, |
| | AW, Wte, , Vo |
| 分析圖表 | 支撐曲線 （BAC1/2）, 振幅分布曲線（ADC） |
| 數(shù)字濾波 | 2CR、 PC75 ,高斯 |
| 截止波長(zhǎng) | 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm |
| 取樣數(shù) | X1, X3, X5, XL |
| 任意長(zhǎng)度（XL） | 0.1 -25mm 、0.1mm增量 |
| 取樣長(zhǎng)度（L） | 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm |
| 打印機(jī) | 熱敏打印機(jī) |
| 打印寬度 | 48mm （紙寬 58mm） |
| 記錄放大倍率 | 垂直：20X-100,000X自動(dòng)、水平：1X-1,000X自動(dòng) |
| 技術(shù)參數(shù)： | |
| X軸（驅(qū)動(dòng)部） | |
| 測(cè)量范圍 | 25mm |
| 測(cè)量速度 | 0.05, 0.1, 0.5, 1.0mm/s |
| 返回速度 | 0.5, 1.0, 2.0 mm/s |
| 移動(dòng)方向 | 向后 |
| 直線度 | 0.3um/25mm |
| 定位 | ±1.5?（傾角），10mm（向上/向下） |
| 檢測(cè)器 | |
| 范圍/分辨率 | 800um/0.01um，80um/0.001um ，8um/0.0001um（使用測(cè)頭選件時(shí)，大） |
| | 可大2400um） |
| 檢測(cè)方法 | 無軌/有軌測(cè)量 |
| 測(cè)力 | 0.75mN |
| 測(cè)針針尖 | 金剛石（60°/ 2 umR） |
| 導(dǎo)頭曲率半徑 | 40mm |
| 檢測(cè)方法 | 差動(dòng)電感式 |
| 顯示 | LCD液晶顯示 |
| 數(shù)據(jù)輸出 | RS-232C端口/SPC輸出 |
| 電源 | 通過AC適配器/可充電鎳氫電池 |
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